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精跟蹤快速傾斜鏡-FSM
精跟蹤快速傾斜鏡-FSM 公司研制的快速傾斜鏡主要有兩種類型 u一種是采用壓電陶瓷或磁致伸縮材料作為作動器驅動的FSM,這種一般用于高精度高帶寬的應用場合； u另外一種是采用音圈電機作為作動器的FSM,該種FSM一般用于動態范圍要求較大，帶寬要求低一些的應用場合； u光學口徑可以根據用戶的要求定做； |
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